（1）利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射恶臭气体，裂解恶臭/工业废气如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯等的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。

　　（2）利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊（游离氧）O+O2→O3（臭氧），众所周知臭氧对有机物具有很强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。

　　（3）恶臭/工业废气利用排风设备引入到净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。（下图所列为工艺说明）废气分子光解氧化说明示意图。

　　烟气中部分未被分解逃逸的分子级异味气体，在特制的高能高臭氧UVc 紫外线（184.9nm ）光束照射，产生氧化力很强的自由基，这些自由基可分解改变异味气体的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链在高能紫外线光束照射下断裂降解，将其所含的氢（H ）和碳（C ）转化成低分子化合物，如CO 2、H 2O 等排出。